晶圓中心定位技術 - LCF

透過兩個感測器（通常是一對紅外線發射與接收器組成的光學遮斷感測器），可以精準定位移動中晶圓的中心，稱為LCF（On-The-Fly Wafer Center finding，在軌晶圓中心定位系統）。

這種「在運動中（On-The-Fly）」計算中心的原理，並不是靠靜止狀態下的多點量測，而是結合了「機器手臂的移動軌跡（時間/步進馬達達編碼器）」與「感測器觸發的瞬間狀態」。 因此在運算上需在邊緣端處理，且誤差都是微秒(uS)等級。